Hochschulschrift

Ätzen von Titannitrid mit Halogenverbindungen : Kammerreinigung mit externer Plasmaquelle

Standort
Deutsche Nationalbibliothek Frankfurt am Main
ISBN
9783839106938
Maße
21 cm, 206 gr.
Umfang
VI, 123 S.
Sprache
Deutsch
Anmerkungen
Ill., graph. Darst.
Zugl.: Dresden, Techn. Univ., Diss., 2009

Schlagwort
Aufdampfen
Titannitrid
Vakuumkammer
Ablagerung
Reinigung
Plasmaätzen

Ereignis
Veröffentlichung
(wo)
Norderstedt
(wer)
Books on Demand GmbH
(wann)
2009
Urheber

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Letzte Aktualisierung
11.06.2025, 14:28 MESZ

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Objekttyp

  • Hochschulschrift

Beteiligte

Entstanden

  • 2009

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