Hochschulschrift | Online-Publikation
Superharte TiN-, Si3N4-Nanokomposite durch reaktive Magnetronzerstäubung kombiniert mit chemischer Gasphasenabscheidung
- Location
-
Deutsche Nationalbibliothek Frankfurt am Main
- Extent
-
Online-Ressource
- Language
-
Deutsch
- Notes
-
München, Techn. Univ., Diss., 2003
- Classification
-
Ingenieurwissenschaften und Maschinenbau
- Keyword
-
Titannitrid
Siliciumnitrid
Schichtverbundwerkstoff
Nanokomposit
PECVD-Verfahren
Titannitrid
Siliciumnitrid
Mehrschichtsystem
Nanostrukturiertes Material
Magnetronsputtern
- Creator
- URN
-
urn:nbn:de:bvb:91-diss2003041607864
- Rights
-
Der Zugriff auf das Objekt ist unbeschränkt möglich.
- Last update
-
25.03.2025, 1:45 PM CET
Data provider
This object is provided by:
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Object type
- Hochschulschrift
- Online-Publikation
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