Hochschulschrift

Mikrostruktur und Eigenschaften von Titannitrid-Siliciumnitrid-Schichten

zu Verbundenen Objekten

Standort
Deutsche Nationalbibliothek Frankfurt am Main
Umfang
Online-Ressource
Sprache
Deutsch
Anmerkungen
Zugl.: Stuttgart, Univ., Diss., 2003

Erschienen in
Bericht / Max-Planck-Institut für Metallforschung ; Nr. 140

Schlagwort
PVD-Verfahren ; Nanostrukturiertes Material ; Titannitrid
Titan

Ereignis
Veröffentlichung
(wo)
Stuttgart
(wer)
Max-Planck-Inst. für Metallforschung
(wann)
[2004]
Urheber
Beteiligte Personen und Organisationen

URN
urn:nbn:de:bsz:93-opus-15879
Rechteinformation
Der Zugriff auf das Objekt ist unbeschränkt möglich.
Letzte Aktualisierung
25.03.2025, 13:45 MEZ

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Objekttyp

  • Hochschulschrift

Beteiligte

Entstanden

  • [2004]

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