Hochschulschrift
Mikrostruktur und Eigenschaften von Titannitrid-Siliciumnitrid-Schichten
- Location
-
Deutsche Nationalbibliothek Frankfurt am Main
- Extent
-
Online-Ressource
- Language
-
Deutsch
- Notes
-
Zugl.: Stuttgart, Univ., Diss., 2003
- Bibliographic citation
-
Bericht / Max-Planck-Institut für Metallforschung ; Nr. 140
- Keyword
-
PVD-Verfahren ; Nanostrukturiertes Material ; Titannitrid
Titan
- Event
-
Veröffentlichung
- (where)
-
Stuttgart
- (who)
-
Max-Planck-Inst. für Metallforschung
- (when)
-
[2004]
- Creator
- Contributor
- URN
-
urn:nbn:de:bsz:93-opus-15879
- Rights
-
Der Zugriff auf das Objekt ist unbeschränkt möglich.
- Last update
-
25.03.2025, 1:45 PM CET
Data provider
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Object type
- Hochschulschrift
Associated
- Kauffmann, Florian
- Universität Stuttgart. Institut für Metallkunde
- Max-Planck-Inst. für Metallforschung
Time of origin
- [2004]
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