Optimization of Silicon Heterojunction Interface Passivation on p‐ and n‐Type Wafers Using Optical Emission Spectroscopy
- Location
-
Deutsche Nationalbibliothek Frankfurt am Main
- Extent
-
Online-Ressource
- Language
-
Englisch
- Bibliographic citation
-
Optimization of Silicon Heterojunction Interface Passivation on p‐ and n‐Type Wafers Using Optical Emission Spectroscopy ; day:14 ; month:01 ; year:2022 ; extent:10
Physica status solidi / A. A, Applications and materials science ; (14.01.2022) (gesamt 10)
- Creator
-
Özkol, Engin
Wagner, Philipp
Ruske, Florian
Stannowski, Bernd
Korte, Lars
- DOI
-
10.1002/pssa.202100511
- URN
-
urn:nbn:de:101:1-2022011514140110250569
- Rights
-
Open Access; Der Zugriff auf das Objekt ist unbeschränkt möglich.
- Last update
-
15.08.2025, 7:38 AM CEST
Data provider
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- Özkol, Engin
- Wagner, Philipp
- Ruske, Florian
- Stannowski, Bernd
- Korte, Lars
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