Hochschulschrift

Kapazitive mikromechanische Drehraten- und Beschleunigungssensoren mit hybrider Inertialmasse

Standort
Deutsche Nationalbibliothek Frankfurt am Main
ISBN
9783832212551
3832212558
Maße
21 cm
Umfang
III, 217 S.
Sprache
Deutsch
Anmerkungen
Ill., graph. Darst.
Zugl.: Berlin, Techn. Univ., Diss., 2002

Schlagwort
Drehratensensor
Kapazitiver Sensor
Mikromechanik
Beschleunigungssensor
Kapazitiver Sensor
Mikromechanik
Beschleunigungssensor
Schwingung
Dämpfung

Ereignis
Veröffentlichung
(wo)
Aachen
(wer)
Shaker
(wann)
2003
Urheber
Sassen, Stefan

Inhaltsverzeichnis
Rechteinformation
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Letzte Aktualisierung
11.03.2025, 12:01 MEZ

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Objekttyp

  • Hochschulschrift

Beteiligte

  • Sassen, Stefan
  • Shaker

Entstanden

  • 2003

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