Hochschulschrift
Kapazitive mikromechanische Drehraten- und Beschleunigungssensoren mit hybrider Inertialmasse
- Location
-
Deutsche Nationalbibliothek Frankfurt am Main
- ISBN
-
9783832212551
3832212558
- Dimensions
-
21 cm
- Extent
-
III, 217 S.
- Language
-
Deutsch
- Notes
-
Ill., graph. Darst.
Zugl.: Berlin, Techn. Univ., Diss., 2002
- Keyword
-
Drehratensensor
Kapazitiver Sensor
Mikromechanik
Beschleunigungssensor
Kapazitiver Sensor
Mikromechanik
Beschleunigungssensor
Schwingung
Dämpfung
- Event
-
Veröffentlichung
- (where)
-
Aachen
- (who)
-
Shaker
- (when)
-
2003
- Creator
-
Sassen, Stefan
- Table of contents
- Rights
-
Bei diesem Objekt liegt nur das Inhaltsverzeichnis digital vor. Der Zugriff darauf ist unbeschränkt möglich.
- Last update
-
03.04.2026, 3:28 PM CEST
Data provider
This object is provided by:
Deutsche Nationalbibliothek. If you have any questions about the object, please contact the data provider.
Deutsche Nationalbibliothek. If you have any questions about the object, please contact the data provider.
Object type
- Hochschulschrift
Associated
- Sassen, Stefan
- Shaker
Time of origin
- 2003
Other Objects (12)
Resonante mikromechanische Energiewandler
Energieeffiziente Auswerteelektronik für kapazitive mikromechanische Drehratensensoren
Energieeffiziente Auswerteelektronik für kapazitive mikromechanische Drehratensensoren
Selbsttestkonzepte für mikromechanische Inertialsensoren
Kapazitive Silizium-Mikrophone für Hör- und Ultraschall
Mikromechanische kapazitive Schalter für den Mikro- und Millimeterwellenbereich
Integrierte piezosensitive und kapazitive Ein-Chip-Silizium-Mikrofone
Kapazitive mikromechanische 1D- und 2D-Ultraschallwandlerarrays für bildverarbeitende Systeme
Kapazitive Schallwandler mit interner Polarisation auf Polymerbasis sowie in Siliziummikromechanik
Zelladhäsion als Benetzungsübergang : mikrooptische und mikromechanische Untersuchung eines biomimetischen Modellsystems
Kapazitive EKG-Messtechnik für Diagnostik und für die Überwachung der Arbeitsbelastung
Mikromechanische Untersuchung des Zytoplasmas, der Zellmembran und der Adhäsion mittels magnetischer Pinzetten
Resonante mikromechanische Energiewandler
Energieeffiziente Auswerteelektronik für kapazitive mikromechanische Drehratensensoren
Energieeffiziente Auswerteelektronik für kapazitive mikromechanische Drehratensensoren
Selbsttestkonzepte für mikromechanische Inertialsensoren
Kapazitive Silizium-Mikrophone für Hör- und Ultraschall
Mikromechanische kapazitive Schalter für den Mikro- und Millimeterwellenbereich
Integrierte piezosensitive und kapazitive Ein-Chip-Silizium-Mikrofone
Kapazitive mikromechanische 1D- und 2D-Ultraschallwandlerarrays für bildverarbeitende Systeme
Kapazitive Schallwandler mit interner Polarisation auf Polymerbasis sowie in Siliziummikromechanik
Zelladhäsion als Benetzungsübergang : mikrooptische und mikromechanische Untersuchung eines biomimetischen Modellsystems
Kapazitive EKG-Messtechnik für Diagnostik und für die Überwachung der Arbeitsbelastung
Mikromechanische Untersuchung des Zytoplasmas, der Zellmembran und der Adhäsion mittels magnetischer Pinzetten
Resonante mikromechanische Energiewandler
Energieeffiziente Auswerteelektronik für kapazitive mikromechanische Drehratensensoren
Energieeffiziente Auswerteelektronik für kapazitive mikromechanische Drehratensensoren
Selbsttestkonzepte für mikromechanische Inertialsensoren
Kapazitive Silizium-Mikrophone für Hör- und Ultraschall
Mikromechanische kapazitive Schalter für den Mikro- und Millimeterwellenbereich
Integrierte piezosensitive und kapazitive Ein-Chip-Silizium-Mikrofone
Kapazitive mikromechanische 1D- und 2D-Ultraschallwandlerarrays für bildverarbeitende Systeme
Kapazitive Schallwandler mit interner Polarisation auf Polymerbasis sowie in Siliziummikromechanik
Zelladhäsion als Benetzungsübergang : mikrooptische und mikromechanische Untersuchung eines biomimetischen Modellsystems
Kapazitive EKG-Messtechnik für Diagnostik und für die Überwachung der Arbeitsbelastung