Hochschulschrift
Seltenerd-basierte ternäre Oxide als alternative Gatedielektrika
- Location
-
Deutsche Nationalbibliothek Frankfurt am Main
- ISBN
-
9783893365432
- Dimensions
-
24 cm
- Extent
-
148 S.
- Language
-
Deutsch
- Notes
-
Ill., graph. Darst.
Zugl.: Aachen, Techn. Hochsch., Diss., 2008
- Bibliographic citation
-
Schriften des Forschungszentrums Jülich / Reihe Information / Forschungszentrum Jülich ; Bd. 3, [...]
- Classification
-
Elektrotechnik, Elektronik
- Keyword
-
High-k-Dielektrikum ; Impulslaserbeschichten ; CVD-Verfahren ; Elektronenstrahlverdampfen ; MOS-FET
- Event
-
Veröffentlichung
- (where)
-
Jülich
- (who)
-
Forschungszentrum, Zentralbibliothek
- (when)
-
2008
- Creator
- URN
-
urn:nbn:de:hbz:82-opus-25377
- Rights
-
Der Zugriff auf das Objekt ist unbeschränkt möglich.
- Last update
-
15.08.2025, 7:28 AM CEST
Data provider
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Object type
- Hochschulschrift
Associated
- Roeckerath, Jens Martin
- Forschungszentrum, Zentralbibliothek
Time of origin
- 2008
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