Hochschulschrift
Seltenerd-basierte ternäre Oxide als alternative Gatedielektrika
- Standort
-
Deutsche Nationalbibliothek Frankfurt am Main
- ISBN
-
9783893365432
- Maße
-
24 cm
- Umfang
-
148 S.
- Sprache
-
Deutsch
- Anmerkungen
-
Ill., graph. Darst.
Zugl.: Aachen, Techn. Hochsch., Diss., 2008
- Erschienen in
-
Schriften des Forschungszentrums Jülich / Reihe Information / Forschungszentrum Jülich ; Bd. 3, [...]
- Klassifikation
-
Elektrotechnik, Elektronik
- Schlagwort
-
High-k-Dielektrikum ; Impulslaserbeschichten ; CVD-Verfahren ; Elektronenstrahlverdampfen ; MOS-FET
- Ereignis
-
Veröffentlichung
- (wo)
-
Jülich
- (wer)
-
Forschungszentrum, Zentralbibliothek
- (wann)
-
2008
- Urheber
- URN
-
urn:nbn:de:hbz:82-opus-25377
- Rechteinformation
-
Der Zugriff auf das Objekt ist unbeschränkt möglich.
- Letzte Aktualisierung
-
15.08.2025, 07:28 MESZ
Datenpartner
Dieses Objekt wird bereitgestellt von:
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Objekttyp
- Hochschulschrift
Beteiligte
- Roeckerath, Jens Martin
- Forschungszentrum, Zentralbibliothek
Entstanden
- 2008
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