Hochschulschrift
Entwicklung von neuartigen Halbleiter-Drucksensoren mittels polykristalliner Siliziumschichten
- Location
-
Deutsche Nationalbibliothek Frankfurt am Main
- Dimensions
-
30 cm
- Extent
-
VI, 165 Bl.
- Language
-
Deutsch
- Notes
-
63, 1 graph. Darst. u. Ill.
München, Techn. Univ., Diss., 1983
- Keyword
-
Halbleiterdrucksensoren
Mikroprozessor
Siliziumschicht
Halbleiterdrucksensor
Mikroprozessor
Siliziumsolarzelle
- Creator
-
Obermeier, Ernst
- Table of contents
- Rights
-
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- Last update
-
11.03.2025, 11:55 AM CET
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Object type
- Hochschulschrift
Associated
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