Charakterisierung von f:H/c-Si-Heterokontakten und dünnen Schichten aus hydrogenisiertem amorphem Silizium, hergestellt mittels gepulstem DC-Magnetronsputtern

Location
Deutsche Nationalbibliothek Frankfurt am Main
Extent
Online-Ressource
Language
Deutsch
Notes
Chemnitz, Technische Universität Chemnitz, Dissertation, 2013

Keyword
Silicium
Amorpher Halbleiter
Heterostruktur
Wasserstoff
Magnetronsputtern
Amorpher Zustand
Magnetronsputtern
Dünne Schicht
Silicium
Wasserstoff
Amorpher Halbleiter
Magnetronsputtern
Silicium
Diode
Heteroübergang
Halbleiter
Elektrische Messung

Event
Veröffentlichung
(where)
Chemnitz
(who)
Universitätsbibliothek Chemnitz
(when)
2013
Creator
Contributor
Richter, Frank
Zahn, Dietrich R. T.

URN
urn:nbn:de:bsz:ch1-qucosa-127840
Rights
Der Zugriff auf das Objekt ist unbeschränkt möglich.
Last update
14.08.2025, 10:47 AM CEST

Data provider

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Time of origin

  • 2013

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