Hochschulschrift

Substratkonforme Imprintlithographie für optische Anwendungen

Weitere Titel
Substrate conformal imprint lithography for optical applications
Standort
Deutsche Nationalbibliothek Frankfurt am Main
Umfang
Online-Ressource
Sprache
Deutsch
Anmerkungen
Erlangen, Friedrich-Alexander-Universität Erlangen-Nürnberg (FAU), Diss., 2014

Schlagwort
Nanoimprint, Lithographie, Substratkonforme Imprintlithographie, UV-Polymer, Prägeverfahren, Mikrooptik, Nanopartikel, Nanostrukturierung

Ereignis
Veröffentlichung
(wo)
Erlangen
(wer)
Friedrich-Alexander-Universität Erlangen-Nürnberg (FAU)
(wann)
2014
Urheber
Beteiligte Personen und Organisationen

URN
urn:nbn:de:bvb:29-opus4-55194
Rechteinformation
Der Zugriff auf das Objekt ist unbeschränkt möglich.
Letzte Aktualisierung
21.10.20252025, 20:31 MESZ

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Objekttyp

  • Hochschulschrift

Beteiligte

Entstanden

  • 2014

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