An analytical temperature-dependent design model for contour-mode MEMS resonators and oscillators verified by measurements

Standort
Deutsche Nationalbibliothek Frankfurt am Main
Umfang
Online-Ressource
Sprache
Englisch

Erschienen in
In: Sensors(18, 2018), H. 7

Klassifikation
Elektrotechnik, Elektronik

Ereignis
Veröffentlichung
(wo)
Ilmenau
(wer)
TU Ilmenau
(wann)
2018
Urheber
Stegner, Johannes
Gropp, Sebastian
Podoskin, Dmitry
Stehr, Uwe
Hoffmann, Martin
Hein, Matthias

DOI
10.3390/s18072159
URN
urn:nbn:de:101:1-2019090506164362504020
Rechteinformation
Der Zugriff auf das Objekt ist unbeschränkt möglich.
Letzte Aktualisierung
15.08.2025, 07:20 MESZ

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Beteiligte

Entstanden

  • 2018

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