- Location
-
Deutsche Nationalbibliothek Frankfurt am Main
- Extent
-
Online-Ressource
- Language
-
Englisch
- Notes
-
In: Jülich : Forschungszentrum Jülich GmbH, Zentralbibliothek, Verlag, 2021 (Schriften des Forschungszentrums Jülich. Reihe Energie & Umwelt = energy & environment; 553)
RWTH Aachen University, Dissertation, 2021
- Keyword
-
Plasma etching
Ceramics
- Event
-
Veröffentlichung
- (where)
-
Aachen
- (who)
-
Universitätsbibliothek der RWTH Aachen
- (when)
-
2021
- Creator
- Contributor
- DOI
-
10.18154/RWTH-2021-10137
- URN
-
urn:nbn:de:101:1-2022012002273314225888
- Rights
-
Der Zugriff auf das Objekt ist unbeschränkt möglich.
- Last update
-
25.03.2025, 1:48 PM CET
Data provider
This object is provided by:
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Associated
- Kindelmann, Moritz
- Guillon, Olivier
- Mayer, Joachim
- Universitätsbibliothek der RWTH Aachen
Time of origin
- 2021
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