Hochschulschrift

Relaxationsinduziertes Gettern von Kobalt und Nickel in Silizium

Location
Deutsche Nationalbibliothek Frankfurt am Main
ISBN
9783895886287
3895886289
Extent
97 S.
Edition
1. Aufl.
Language
Deutsch
Notes
Ill., graph. Darst.
Zugl.: Göttingen, Univ., Diss., 1996

Keyword
Siliciumbauelement
Cobalt
Getterung
Siliciumbauelement
Nickel
Getterung

Event
Veröffentlichung
(where)
Göttingen
(who)
Cuvillier
(when)
1996
Creator
Ewe, Henrik

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Last update
11.03.2025, 11:56 AM CET

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Object type

  • Hochschulschrift

Associated

  • Ewe, Henrik
  • Cuvillier

Time of origin

  • 1996

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