Hochschulschrift
RF überlagertes DC-Sputtern von transparenten leitfähigen Oxiden
- Location
-
Deutsche Nationalbibliothek Frankfurt am Main
- Extent
-
Online-Ressource
- Language
-
Deutsch
- Notes
-
Chemnitz, Technische Universität Chemnitz, Dissertation, 2013
- Keyword
-
Transparent-leitendes Oxid
Dünne Schicht
Hochfrequenzsputtern
Tempern
Transparent-leitendes Oxid
Sputtern
- Event
-
Veröffentlichung
- (where)
-
Chemnitz
- (who)
-
Universitätsbibliothek Chemnitz
- (when)
-
2013
- Event
-
Veröffentlichung
- (where)
-
Chemnitz
- (who)
-
Universitätsverlag der Technischen Universität Chemnitz
- (when)
-
2013
- Creator
- Contributor
-
Richter, Frank
Weber, Jörg
- URN
-
urn:nbn:de:bsz:ch1-qucosa-116687
- Rights
-
Der Zugriff auf das Objekt ist unbeschränkt möglich.
- Last update
-
14.08.2025, 10:55 AM CEST
Data provider
This object is provided by:
Deutsche Nationalbibliothek. If you have any questions about the object, please contact the data provider.
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Object type
- Hochschulschrift
Associated
- Heimke, Bruno
- Richter, Frank
- Weber, Jörg
- Universitätsbibliothek Chemnitz
- Universitätsverlag der Technischen Universität Chemnitz
Time of origin
- 2013
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