Hochschulschrift
Untersuchung und Charakterisierung von ein- und zweidimensionalen Implantationsprofilen in einkristallinem Silicium
- Location
-
Deutsche Nationalbibliothek Frankfurt am Main
- Dimensions
-
21 cm
- Extent
-
100 S.
- Language
-
Deutsch
- Notes
-
graph. Darst.
Erlangen, Nürnberg, Univ., Diss., 1993
- Keyword
-
Silicium
Einkristall
Ionenimplantation
Tiefenprofilmessung
- Creator
- Table of contents
- Rights
-
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- Last update
-
11.06.2025, 1:36 PM CEST
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Object type
- Hochschulschrift
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