Hochschulschrift

Hochfrequent fokusabstandsmodulierte Konfokalsensoren für die Nanokoordinatenmesstechnik

Location
Deutsche Nationalbibliothek Frankfurt am Main
ISBN
9783961474356
3961474354
Dimensions
24 cm, 477 g
Extent
x, 144 Seiten
Language
Deutsch
Notes
Illustrationen
Friedrich-Alexander-Universität Erlangen-Nürnberg, Dissertation, 2021

Bibliographic citation
FAU Studien aus dem Maschinenbau ; Band 370

Keyword
Koordinatenmesstechnik
Nanometerbereich
Koordinatenmessgerät
Optisches System
Konfokaltechnik
Sensortechnik
Positionierung
Nachführung
Koordinatenmesstechnik
Sensor
Berührungsloser Sensor
Ingenieurwissenschaften
Maschinenbau
Produktionstechnik

Event
Veröffentlichung
(where)
Erlangen
(who)
FAU University Press
(when)
2021
Creator
Contributor

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Last update
11.06.2025, 2:07 PM CEST

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Object type

  • Hochschulschrift

Time of origin

  • 2021

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