Hochschulschrift

Anpassung der spektralen Verteilung der Synchrotronstrahlung für die Röntgentiefenlithografie

Standort
Deutsche Nationalbibliothek Frankfurt am Main
Maße
30 cm
Umfang
113 S.
Sprache
Deutsch
Anmerkungen
graph. Darst.
Zugl.: Bonn, Univ., Diss., 1989

Ereignis
Veröffentlichung
(wo)
Bonn
(wer)
Physikal. Inst.
(wann)
1989
Urheber
Maid, Britta

Inhaltsverzeichnis
Rechteinformation
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Letzte Aktualisierung
11.03.2025, 12:00 MEZ

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Objekttyp

  • Hochschulschrift

Beteiligte

  • Maid, Britta
  • Physikal. Inst.

Entstanden

  • 1989

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