Geração de máscaras em escala nano e micrométrica por litografia eletrônica

Standort
Deutsche Nationalbibliothek Frankfurt am Main
Umfang
Online-Ressource
Sprache
Portugiesisch
Anmerkungen
In: Anais / 38° Congresso Brasileiro de Cerâmica; 2° Encontro de Mineradores e Consumidores : [18 a 21 de junho de 1994, Blumenau, SC] / Associação Brasileira de Cerâmica. - Vol. 1. - São Paulo, SP : Associação Brasileira de Cerâmica, 1994, S. 144-148

Klassifikation
Naturwissenschaften
Schlagwort
Elektronenstrahllithographie ; Elektronenstrahl ; Polymerfilm ; Ätzen ; Substrat ; Substrat

Ereignis
Veröffentlichung
(wo)
Saarbrücken
(wer)
Saarländische Universitäts- und Landesbibliothek
(wann)
2009
Beteiligte Personen und Organisationen
Silva, Marcelo A. P. da
Nastaushev, Y.
Basmaji, P.
Rossi, J. C.
Aegerter, Michel A.

URN
urn:nbn:de:bsz:291-scidok-23580
Rechteinformation
Der Zugriff auf das Objekt ist unbeschränkt möglich.
Letzte Aktualisierung
14.08.2025, 10:49 MESZ

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Beteiligte

  • Silva, Marcelo A. P. da
  • Nastaushev, Y.
  • Basmaji, P.
  • Rossi, J. C.
  • Aegerter, Michel A.
  • Saarländische Universitäts- und Landesbibliothek

Entstanden

  • 2009

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