Hochschulschrift | Online-Publikation
Excimer-Laser-unterstützte Prozesse für die Siliziumtechnologie
- Location
-
Deutsche Nationalbibliothek Frankfurt am Main
- Extent
-
Online-Ressource
- Language
-
Deutsch
- Notes
-
München, Univ. der Bundeswehr, Diss., 2002
- Classification
-
Ingenieurwissenschaften und Maschinenbau
- Keyword
-
Silicium
Halbleitertechnologie
Excimerlaser
Silicium ; Halbleitertechnologie ; Excimer Laser ; Trockenätzen ; Dotierung ; Oxidation
- Creator
-
Wang, Yan
- URN
-
urn:nbn:de:bvb:706-419
- Rights
-
Der Zugriff auf das Objekt ist unbeschränkt möglich.
- Last update
-
25.03.2025, 1:49 PM CET
Data provider
This object is provided by:
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Object type
- Hochschulschrift
- Online-Publikation
Associated
- Wang, Yan
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