Hochschulschrift
Drehmomentoptimierter Antrieb für elektrostatische Mikroscanner
- Location
-
Deutsche Nationalbibliothek Frankfurt am Main
- ISBN
-
9783844008289
- Dimensions
-
21 cm, 215 g
- Extent
-
143 S.
- Language
-
Deutsch
- Notes
-
Ill., graph. Darst.
Zugl.: Saarbrücken, Univ., Diss., 2012
- Bibliographic citation
-
Aktuelle Berichte aus der Mikrosystemtechnik ; Bd. 21
- Classification
-
Elektrotechnik, Elektronik
- Keyword
-
MEMS
Mikrooptik
Scanner
Mikroaktor
Kammantrieb
Drehmomentregelung
SOI-Technik
Geräteentwicklung
Herstellung
- Event
-
Veröffentlichung
- (where)
-
Aachen
- (who)
-
Shaker
- (when)
-
2012
- Creator
-
Fritz, Joachim
- Table of contents
- Rights
-
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- Last update
-
11.03.2025, 11:40 AM CET
Data provider
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Object type
- Hochschulschrift
Associated
- Fritz, Joachim
- Shaker
Time of origin
- 2012
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