Physical IC debug – backside approach and nanoscale challenge

Location
Deutsche Nationalbibliothek Frankfurt am Main
Extent
Online-Ressource
Language
Englisch

Bibliographic citation
Physical IC debug – backside approach and nanoscale challenge ; volume:6 ; year:2008 ; pages:265-272
Advances in radio science ; 6 (2008), 265-272

Creator
Boit, C.
Schlangen, R.
Glowacki, A.
Kindereit, U.
Kiyan, T.
Kerst, U.
Lundquist, T.
Kasapi, S.
Suzuki, H.

DOI
10.5194/ars-6-265-2008
URN
urn:nbn:de:101:1-2018010219458
Rights
Open Access; Der Zugriff auf das Objekt ist unbeschränkt möglich.
Last update
15.08.2025, 7:23 AM CEST

Data provider

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  • Boit, C.
  • Schlangen, R.
  • Glowacki, A.
  • Kindereit, U.
  • Kiyan, T.
  • Kerst, U.
  • Lundquist, T.
  • Kasapi, S.
  • Suzuki, H.

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