Hochschulschrift

PVD-Abscheidung und Charakterisierung einphasiger Gruppe-III-Nitride aus dem System Al-B-N

Standort
Deutsche Nationalbibliothek Frankfurt am Main
ISBN
9783896534958
3896534955
Maße
21 cm
Umfang
II, 96 S.
Ausgabe
1. Aufl.
Sprache
Deutsch
Anmerkungen
Ill., graph. Darst.
Zugl.: Aachen, Techn. Hochsch., Diss., 1999

Schlagwort
Drei-Fünf-Halbleiter
Aluminiumnitrid
Bornitrid
Dünne Schicht
Magnetronsputtern

Ereignis
Veröffentlichung
(wo)
Aachen
(wer)
Mainz
(wann)
1999
Urheber

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Letzte Aktualisierung
11.06.2025, 13:56 MESZ

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Objekttyp

  • Hochschulschrift

Beteiligte

Entstanden

  • 1999

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