Hochschulschrift
Elektrische Charakterisierung mikroelektronischer Bauelemente mittels der Rasterkraftmikroskopie
- Location
-
Deutsche Nationalbibliothek Frankfurt am Main
- ISBN
-
9783183524082
3183524082
- Dimensions
-
21 cm
- Extent
-
X, 124 S.
- Edition
-
Als Ms. gedr.
- Language
-
Deutsch
- Notes
-
Ill., graph. Darst.
Zugl.: Duisburg, Univ., Diss., 1995
- Bibliographic citation
-
Fortschritt-Berichte VDI / Verein Deutscher Ingenieure ; Nr. 524, Reihe 08
- Keyword
-
Analoge integrierte Schaltung
VLSI
Elektrische Eigenschaft
Testbarkeit
Rasterkraftmikroskopie
Fehlererkennung
Digitale integrierte Schaltung
VLSI
Elektrische Eigenschaft
Testbarkeit
Rasterkraftmikroskopie
Fehlererkennung
- Event
-
Veröffentlichung
- (where)
-
Düsseldorf
- (who)
-
VDI-Verl.
- (when)
-
1995
- Creator
-
Böhm, Christoph
- Table of contents
- Rights
-
Bei diesem Objekt liegt nur das Inhaltsverzeichnis digital vor. Der Zugriff darauf ist unbeschränkt möglich.
- Last update
-
11.03.2025, 12:19 PM CET
Data provider
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Object type
- Hochschulschrift
Associated
- Böhm, Christoph
- VDI-Verl.
Time of origin
- 1995
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