Hochschulschrift
Elektrische Charakterisierung mikroelektronischer Bauelemente mittels der Rasterkraftmikroskopie
- Standort
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Deutsche Nationalbibliothek Frankfurt am Main
- ISBN
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9783183524082
3183524082
- Maße
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21 cm
- Umfang
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X, 124 S.
- Ausgabe
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Als Ms. gedr.
- Sprache
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Deutsch
- Anmerkungen
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Ill., graph. Darst.
Zugl.: Duisburg, Univ., Diss., 1995
- Erschienen in
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Fortschritt-Berichte VDI / Verein Deutscher Ingenieure ; Nr. 524, Reihe 08
- Schlagwort
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Analoge integrierte Schaltung
VLSI
Elektrische Eigenschaft
Testbarkeit
Rasterkraftmikroskopie
Fehlererkennung
Digitale integrierte Schaltung
VLSI
Elektrische Eigenschaft
Testbarkeit
Rasterkraftmikroskopie
Fehlererkennung
- Ereignis
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Veröffentlichung
- (wo)
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Düsseldorf
- (wer)
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VDI-Verl.
- (wann)
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1995
- Urheber
-
Böhm, Christoph
- Inhaltsverzeichnis
- Rechteinformation
-
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- Letzte Aktualisierung
-
11.03.2025, 12:19 MEZ
Datenpartner
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Objekttyp
- Hochschulschrift
Beteiligte
- Böhm, Christoph
- VDI-Verl.
Entstanden
- 1995