Hochschulschrift

Elektrische Charakterisierung mikroelektronischer Bauelemente mittels der Rasterkraftmikroskopie

Standort
Deutsche Nationalbibliothek Frankfurt am Main
ISBN
9783183524082
3183524082
Maße
21 cm
Umfang
X, 124 S.
Ausgabe
Als Ms. gedr.
Sprache
Deutsch
Anmerkungen
Ill., graph. Darst.
Zugl.: Duisburg, Univ., Diss., 1995

Erschienen in
Fortschritt-Berichte VDI / Verein Deutscher Ingenieure ; Nr. 524, Reihe 08

Schlagwort
Analoge integrierte Schaltung
VLSI
Elektrische Eigenschaft
Testbarkeit
Rasterkraftmikroskopie
Fehlererkennung
Digitale integrierte Schaltung
VLSI
Elektrische Eigenschaft
Testbarkeit
Rasterkraftmikroskopie
Fehlererkennung

Ereignis
Veröffentlichung
(wo)
Düsseldorf
(wer)
VDI-Verl.
(wann)
1995
Urheber
Böhm, Christoph

Inhaltsverzeichnis
Rechteinformation
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Letzte Aktualisierung
11.03.2025, 12:19 MEZ

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Objekttyp

  • Hochschulschrift

Beteiligte

  • Böhm, Christoph
  • VDI-Verl.

Entstanden

  • 1995

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