Hochschulschrift
Metallurgische Eigenschaften und Elektromigration in ALCUx-Legierungen für höchstintegrierte Schaltkreise
- Location
-
Deutsche Nationalbibliothek Frankfurt am Main
- ISBN
-
9783896390684
3896390686
- Dimensions
-
21 cm
- Extent
-
88, X S.
- Language
-
Deutsch
- Notes
-
graph. Darst.
Zugl.: Augsburg, Univ., Diss., 1996
- Bibliographic citation
-
Augsburger mathematisch-naturwissenschaftliche Schriften ; 17
- Keyword
-
VLSI
Metallisieren
Aluminiumlegierung
Kupferlegierung
Elektromigration
Degradation
- Table of contents
- Rights
-
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- Last update
-
11.06.2025, 1:33 PM CEST
Data provider
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Object type
- Hochschulschrift
Associated
- Dietrich, Stefan
- Wißner
Time of origin
- 1997
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