High-performance cutting of micro patterns

Sprache
Englisch
Identifier
1213810485

Beteiligte Personen und Organisationen
Köhler, Jens
Mörke, Tobias
Gümmer, Olaf
Denkena, Berend

DOI
10.15488/1359
URN
Rechteinformation
Der Zugriff auf das Objekt ist unbeschränkt möglich.
Letzte Aktualisierung
26.01.2023, 13:52 MEZ

Datenpartner

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Beteiligte

  • Köhler, Jens
  • Mörke, Tobias
  • Gümmer, Olaf
  • Denkena, Berend

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