Hochschulschrift

Zur Anwendung der Kurzzeit-Prozesstechnik in der MOS-Technologie

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Location
Deutsche Nationalbibliothek Frankfurt am Main
ISBN
9783861112747
3861112744
Dimensions
21 cm
Extent
145 S.
Edition
Als Ms. gedr.
Language
Deutsch
Notes
graph. Darst.
Zugl.: Aachen, Techn. Hochsch., Diss., 1992

Keyword
MOS-Schaltung
Rapid thermal processing

Event
Veröffentlichung
(where)
Aachen
(who)
Shaker
(when)
1992
Creator
Heyers, Klaus-Walter

Table of contents
Rights
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Last update
11.06.2025, 2:03 PM CEST

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Object type

  • Hochschulschrift

Associated

  • Heyers, Klaus-Walter
  • Shaker

Time of origin

  • 1992

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