Hochschulschrift
Entwicklung und Anwendung von kombinatorischen Methoden und Mikrosensoren zur Messung mechanischer Schichtspannungen und der Schichttemperatur bei reaktiven Plasmabeschichtungsprozessen
- Location
-
Deutsche Nationalbibliothek Frankfurt am Main
- Extent
-
Online-Ressource
- Language
-
Deutsch
- Notes
-
Bochum, Ruhr-Universität Bochum, Dissertation, 2016
- Classification
-
Industrielle und handwerkliche Fertigung
- Keyword
-
Plasmaabscheidung
Temperatur
Messung
Mikrosensor
Elektrische Spannung
Dünne Schicht
Beschichten
Schichtwachstum
Sputtern
Kathode
Plasma
Target
Kombinatorik
Sensor
Plasma
Schichtspannung
Hochleistungsimpulsmagnetronsputtern
- Event
-
Veröffentlichung
- (where)
-
Bochum
- (who)
-
Ruhr-Universität Bochum
- (when)
-
2016
- Creator
- Contributor
-
Ludwig, Alfred
Awakowicz, Peter
- URN
-
urn:nbn:de:hbz:294-49865
- Rights
-
Der Zugriff auf das Objekt ist unbeschränkt möglich.
- Last update
-
14.08.2025, 11:00 AM CEST
Data provider
This object is provided by:
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Object type
- Hochschulschrift
Associated
- Grochla, Darius G.
- Ludwig, Alfred
- Awakowicz, Peter
- Ruhr-Universität Bochum
Time of origin
- 2016
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