Hochschulschrift
Agent based diagnostic system for the defect analysis during chemical mechanical polishing (CMP)
- Location
-
Deutsche Nationalbibliothek Frankfurt am Main
- ISBN
-
9783936947649
3936947643
- Extent
-
Online-Ressource
- Language
-
Englisch
- Notes
-
Zugl.: Stuttgart, Univ., Diss., 2005
- Bibliographic citation
-
IPA-IAO-Forschung und Praxis / Fraunhofer-Institut für Produktionstechnik und Automatisierung ; Nr. 421
- Classification
-
Ingenieurwissenschaften und Maschinenbau
- Keyword
-
Wafer
Chemisches Polieren
Prozessüberwachung
Defekt
Diagnosesystem
Mehragentensystem
Mehragentensystem ; Diagnosesystem ; Chemisches Polieren ; Polieren ; Defekt ; Technischer Fehler ; Agent ,Agent
- Event
-
Veröffentlichung
- (where)
-
Heimsheim
- (who)
-
Jost-Jetter
- (when)
-
2005
- Creator
-
Kumar, Akhauri Prakash
- Contributor
- URN
-
urn:nbn:de:bsz:93-opus-23777
- Rights
-
Der Zugriff auf das Objekt ist unbeschränkt möglich.
- Last update
-
15.08.2025, 7:19 AM CEST
Data provider
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Object type
- Hochschulschrift
Associated
- Kumar, Akhauri Prakash
- Universität Stuttgart. Institut für Industrielle Fertigung und Fabrikbetrieb
- Jost-Jetter
Time of origin
- 2005
Other Objects (12)
![Sagen aus dem Schwarzwald, Bd. 1.. Dieses Buch beinhaltet vorwiegend Sagen des nördlichen Schwarzwaldes, insbesondere aus der Gegend um Enz, Nagold und Würm / [Ill.: Stefan Ölschläger. Text: Andreas Wurster]](/assets/placeholder/searchResultMediaNoDigitisedMedia.png)
Sagen aus dem Schwarzwald, Bd. 1.. Dieses Buch beinhaltet vorwiegend Sagen des nördlichen Schwarzwaldes, insbesondere aus der Gegend um Enz, Nagold und Würm / [Ill.: Stefan Ölschläger. Text: Andreas Wurster]
Sagen aus dem Schwarzwald, Bd. 2.. Dieses Buch beinhaltet Sagen aus dem gesamten Schwarzwald, die meisten davon aus dem nördlichen Teil / [Ill.: Stefan Ölschläger "Steve". Text: Carola Sickinger]
Auftragskoordination in Produktionsnetzen der Halbleiterindustrie
Ein integrierter Ansatz zur wissensbasierten Informationsrecherche
Automatische Klassifikation von Oberflächen mittels neuronaler Netze und Fuzzy-Logik
Vorgehensmodell zur Gestaltung internetbasierter Mehrwertdienste für den Maschinen- und Anlagenbau
Ein betriebsbegleitendes Fabriksimulationssystem zur durchgängigen Unterstützung der kontinuierlichen Fabrikadaption
Laufzeit-Modellierung objektorientierter interaktiver Prozesse in der Produktion
Ein Planungsverfahren zur Konfiguration der Produktionslogistik
Laserunterstützte Synthese von einwandigen Kohlenstoffnanoröhren (SWCTs) [(SWCNTs)] und Applikation von Polycarbonaten
Ein regelbasierter Beobachter zur prozessorientierten Integration betrieblicher Informationssysteme
Eine Methode zur Einführung von Vertriebsunterstützungssystemen in der Investitionsgüterindustrie
Sagen aus dem Schwarzwald, Bd. 1.. Dieses Buch beinhaltet vorwiegend Sagen des nördlichen Schwarzwaldes, insbesondere aus der Gegend um Enz, Nagold und Würm / [Ill.: Stefan Ölschläger. Text: Andreas Wurster]
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