Optimization of Pulse Laser Annealing to Increase Sharpness of Implanted-junction Rectifier in Semiconductor Heterostructure

Standort
Deutsche Nationalbibliothek Frankfurt am Main
ISSN
2150-5551
Umfang
Online-Ressource
Sprache
Englisch
Anmerkungen
online resource.

Erschienen in
Optimization of Pulse Laser Annealing to Increase Sharpness of Implanted-junction Rectifier in Semiconductor Heterostructure ; volume:2 ; number:4 ; day:12 ; month:12 ; year:2010 ; pages:256-267 ; date:12.2010
Nano-Micro letters ; 2, Heft 4 (12.12.2010), 256-267, 12.2010

Urheber
Pankratov, E. L.
Beteiligte Personen und Organisationen
SpringerLink (Online service)

DOI
10.1007/BF03353852
URN
urn:nbn:de:1111-2016052051611
Rechteinformation
Der Zugriff auf das Objekt ist unbeschränkt möglich.
Letzte Aktualisierung
14.08.2025, 10:44 MESZ

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Beteiligte

  • Pankratov, E. L.
  • SpringerLink (Online service)

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