Influence of the epitaxial composition on N-face GaN KOH etch kinetics determined by ICP-OES

Standort
Deutsche Nationalbibliothek Frankfurt am Main
Umfang
Online-Ressource
Sprache
Englisch

Erschienen in
Influence of the epitaxial composition on N-face GaN KOH etch kinetics determined by ICP-OES ; volume:11 ; pages:41-50
Beilstein journal of nanotechnology ; 11, 41-50

Klassifikation
Ingenieurwissenschaften und Maschinenbau

DOI
10.3762/bjnano.11.4
URN
urn:nbn:de:101:1-2020112714443462225459
Rechteinformation
Der Zugriff auf das Objekt ist unbeschränkt möglich.
Letzte Aktualisierung
15.08.2025, 07:22 MESZ

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