Influence of the epitaxial composition on N-face GaN KOH etch kinetics determined by ICP-OES

Location
Deutsche Nationalbibliothek Frankfurt am Main
Extent
Online-Ressource
Language
Englisch

Bibliographic citation
Influence of the epitaxial composition on N-face GaN KOH etch kinetics determined by ICP-OES ; volume:11 ; pages:41-50
Beilstein journal of nanotechnology ; 11, 41-50

Classification
Ingenieurwissenschaften und Maschinenbau

DOI
10.3762/bjnano.11.4
URN
urn:nbn:de:101:1-2020112714443462225459
Rights
Der Zugriff auf das Objekt ist unbeschränkt möglich.
Last update
15.08.2025, 7:22 AM CEST

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