Lehrbuch
MEMS in der Mikrosystemtechnik : Aufbau, Wirkprinzipien, Herstellung und Praxiseinsatz mikroelektromechanischer Schaltungen und Sensorsysteme ; mit 6 Tabellen
- Standort
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Deutsche Nationalbibliothek Frankfurt am Main
- ISBN
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9783519005209
3519005204
- Maße
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24 cm
- Umfang
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212 S.
- Ausgabe
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1. Aufl.
- Sprache
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Deutsch
- Anmerkungen
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graph. Darst.
Literaturverz. S. 201 - 205
- Klassifikation
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Ingenieurwissenschaften und Maschinenbau
- Schlagwort
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MEMS
Sensorsystem
- Inhaltsverzeichnis
- Rechteinformation
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- Letzte Aktualisierung
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11.03.2025, 12:11 MEZ
Datenpartner
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Objekttyp
- Lehrbuch
Beteiligte
- Glück, Markus
- Teubner
Entstanden
- 2005