Lehrbuch

MEMS in der Mikrosystemtechnik : Aufbau, Wirkprinzipien, Herstellung und Praxiseinsatz mikroelektromechanischer Schaltungen und Sensorsysteme ; mit 6 Tabellen

Standort
Deutsche Nationalbibliothek Frankfurt am Main
ISBN
9783519005209
3519005204
Maße
24 cm
Umfang
212 S.
Ausgabe
1. Aufl.
Sprache
Deutsch
Anmerkungen
graph. Darst.
Literaturverz. S. 201 - 205

Klassifikation
Ingenieurwissenschaften und Maschinenbau
Schlagwort
MEMS
Sensorsystem

Ereignis
Veröffentlichung
(wo)
Wiesbaden
(wer)
Teubner
(wann)
2005
Urheber

Inhaltsverzeichnis
Rechteinformation
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Letzte Aktualisierung
11.03.2025, 12:11 MEZ

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Objekttyp

  • Lehrbuch

Beteiligte

Entstanden

  • 2005

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