Piezoelectric Response of Polycrystalline Silicon‐Doped Hafnium Oxide Thin Films Determined by Rapid Temperature Cycles

Standort
Deutsche Nationalbibliothek Frankfurt am Main
Umfang
Online-Ressource
Sprache
Englisch

Erschienen in
Piezoelectric Response of Polycrystalline Silicon‐Doped Hafnium Oxide Thin Films Determined by Rapid Temperature Cycles ; volume:6 ; number:3 ; year:2020 ; extent:5
Advanced electronic materials ; 6, Heft 3 (2020) (gesamt 5)

Urheber
Mart, Clemens
Kämpfe, Thomas
Hoffmann, Raik
Eßlinger, Sophia
Kirbach, Sven
Kühnel, Kati
Czernohorsky, Malte
Eng, Lukas M.
Weinreich, Wenke

DOI
10.1002/aelm.201901015
URN
urn:nbn:de:101:1-2022062310543569681202
Rechteinformation
Open Access; Der Zugriff auf das Objekt ist unbeschränkt möglich.
Letzte Aktualisierung
15.08.2025, 07:26 MESZ

Datenpartner

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Beteiligte

  • Mart, Clemens
  • Kämpfe, Thomas
  • Hoffmann, Raik
  • Eßlinger, Sophia
  • Kirbach, Sven
  • Kühnel, Kati
  • Czernohorsky, Malte
  • Eng, Lukas M.
  • Weinreich, Wenke

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