Hochschulschrift
Untersuchungen der Pyrolyse von Silan zur Herstellung von polykristallinem Silizium in einem Wirbelbettreaktor
- Location
-
Deutsche Nationalbibliothek Frankfurt am Main
- ISBN
-
9783898254182
3898254186
- Dimensions
-
21 cm
- Extent
-
X, 159 S.
- Edition
-
Als Ms. gedr.
- Language
-
Deutsch
- Notes
-
graph. Darst., Ill.
Zugl.: Bochum, Univ., Diss., 2002
- Keyword
-
Silan
Pyrolyse
Silicium
Polykristall
Reinststoff
Herstellung
Silan
Pyrolyse
CVD-Verfahren
Wirbelschichtreaktor
Reaktionstechnik
- Event
-
Veröffentlichung
- (where)
-
Berlin
- (who)
-
dissertation.de
- (when)
-
2002
- Creator
- Table of contents
- Rights
-
Bei diesem Objekt liegt nur das Inhaltsverzeichnis digital vor. Der Zugriff darauf ist unbeschränkt möglich.
- Last update
-
11.06.2025, 2:21 PM CEST
Data provider
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Object type
- Hochschulschrift
Associated
- Tejero-Ezpeleta, Maria-Pilar
- dissertation.de
Time of origin
- 2002
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