Monografie

Micro-nano integrated fabrication technology and its applications in microenergy harvesting

Ausgabe
[1st ed.]
Sprache
Englisch
Umfang
xx, 122 Seiten
ISBN
978-3-662-48814-0
Identifier
1077107846

Reihe
Springer theses

Thema
Silicium ; Polydimethylsiloxan ; Parylene ; Energy Harvesting ; Nanotechnologie ; Mikrosystemtechnik ; Hochschulschrift

Beteiligte Personen und Organisationen
Zhang, Xiao-Sheng
Springer-Verlag GmbH

Inhaltsverzeichnis
Rechteinformation
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Letzte Aktualisierung
15.04.2024, 08:52 MESZ

Objekttyp

  • Monografie

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