Hochschulschrift
Entwicklung eines hochpräzisen Justagesystems für die UV-Nanoimprint-Lithographie
- Standort
-
Deutsche Nationalbibliothek Frankfurt am Main
- ISBN
-
9783832254377
3832254374
- Maße
-
21 cm, 221 gr.
- Umfang
-
III, 138 S.
- Sprache
-
Deutsch
- Anmerkungen
-
Ill., graph. Darst.
Zugl.: Aachen, Techn. Hochsch., Diss., 2006
- Klassifikation
-
Ingenieurwissenschaften und Maschinenbau
- Schlagwort
-
Wafer
Nanoprägen
Photoresist
Ultraviolett
Halbleitersubstrat
Automatisches Justieren
- Inhaltsverzeichnis
- Rechteinformation
-
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- Letzte Aktualisierung
-
11.06.2025, 14:20 MESZ
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Objekttyp
- Hochschulschrift
Beteiligte
- Fuchs, Andreas
- Shaker
Entstanden
- 2006
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