Die Rolle des Sauerstoffanteils in Titandioxid bei Tantal-Dotierung zur Verwendung als transparentes leitfähiges Oxid

Standort
Deutsche Nationalbibliothek Frankfurt am Main
Umfang
Online-Ressource
Sprache
Deutsch
Anmerkungen
Chemnitz, Technische Universität Chemnitz, Dissertation, 2016

Schlagwort
Tantal
Dotierung
Titandioxid
Sauerstoff
Transparent-leitendes Oxid
Dotierung
Dünne Schicht
Titandioxid
Transparent-leitendes Oxid
Magnetronsputtern
Elektrische Leitfähigkeit
Elektrische Eigenschaft
Mischoxide
Tantal
Titandioxid
Halbleiter
Oxide
Sputtern
Kristallisation

Ereignis
Veröffentlichung
(wo)
Chemnitz
(wer)
Universitätsbibliothek Chemnitz
(wann)
2016
Urheber
Beteiligte Personen und Organisationen
Gemming, Sibylle
Vinnichenko, Mykola
Szyszka, Bernd

URN
urn:nbn:de:bsz:ch1-qucosa-197922
Rechteinformation
Der Zugriff auf das Objekt ist unbeschränkt möglich.
Letzte Aktualisierung
14.08.2025, 10:48 MESZ

Datenpartner

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Beteiligte

  • Neubert, Marcel
  • Gemming, Sibylle
  • Vinnichenko, Mykola
  • Szyszka, Bernd
  • Universitätsbibliothek Chemnitz

Entstanden

  • 2016

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