Hochschulschrift
Adhäsions- und Reibungsverhalten von Nano- und Mikropartikeln auf Siliziumwafern
- Alternative title
-
Adhesion- and friction behavior of nano and micro particles on silicon wafers
- Location
-
Deutsche Nationalbibliothek Frankfurt am Main
- Extent
-
Online-Ressource
- Language
-
Deutsch
- Notes
-
Darmstadt, Technische Universität Darmstadt, Dissertation, 2016
- Classification
-
Elektrotechnik, Elektronik
Physik
- Keyword
-
Reibung
Adhäsion
Mikropartikel
Reinigung
Teilchen
- Event
-
Veröffentlichung
- (where)
-
Darmstadt
- (who)
-
Universitäts- und Landesbibliothek Darmstadt
- (when)
-
2016
- Creator
- Contributor
-
Stark, Robert
Trautmann, Christina
- URN
-
urn:nbn:de:tuda-tuprints-53640
- Rights
-
Der Zugriff auf das Objekt ist unbeschränkt möglich.
- Last update
-
14.08.2025, 10:53 AM CEST
Data provider
This object is provided by:
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Object type
- Hochschulschrift
Associated
- Schiwek, Simon
- Stark, Robert
- Trautmann, Christina
- Universitäts- und Landesbibliothek Darmstadt
Time of origin
- 2016
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