Focused ion beam-based microfabrication of boron-doped diamond single-crystal tip cantilevers for electrical and mechanical scanning probe microscopy

Standort
Deutsche Nationalbibliothek Frankfurt am Main
Umfang
Online-Ressource
Sprache
Englisch

Erschienen in
In: Measurement(188, 2022)

Ereignis
Veröffentlichung
(wo)
Ilmenau
(wer)
TU Ilmenau
(wann)
2021
Urheber
Gacka, Ewelina
Kunicki, Piotr
Sikora, Andrzej
Bogdanowicz, Robert
Ficek, Mateusz
Gotszalk, Teodor
Rangelow, Ivo W.
Kwoka, Krzysztof

DOI
10.1016/j.measurement.2021.110373
URN
urn:nbn:de:101:1-2022031402070072648813
Rechteinformation
Der Zugriff auf das Objekt ist unbeschränkt möglich.
Letzte Aktualisierung
15.08.2025, 07:35 MESZ

Datenpartner

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Beteiligte

  • Gacka, Ewelina
  • Kunicki, Piotr
  • Sikora, Andrzej
  • Bogdanowicz, Robert
  • Ficek, Mateusz
  • Gotszalk, Teodor
  • Rangelow, Ivo W.
  • Kwoka, Krzysztof
  • TU Ilmenau

Entstanden

  • 2021

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