Hochschulschrift
Mikrostrukturierungstechniken zur Herstellung von MEMS aus Halbleitern großer Bandlücke
- Standort
-
Deutsche Nationalbibliothek Frankfurt am Main
- ISBN
-
9783939473848
- Maße
-
21 cm, 250 g
- Umfang
-
200 S.
- Sprache
-
Deutsch
- Anmerkungen
-
Ill., graph. Darst.
Zugl.: Ilmenau, Techn. Univ., Diss., 2009
- Klassifikation
-
Elektrotechnik, Elektronik
- Schlagwort
-
MEMS
Resonator
Galliumnitrid
Heterostruktur
Halbleitersubstrat
Siliciumcarbid
Ätzen
Prozessoptimierung
- Ereignis
-
Veröffentlichung
- (wo)
-
Ilmenau
- (wer)
-
Univ.-Verl.
- (wann)
-
2010
- Urheber
- Inhaltsverzeichnis
- Rechteinformation
-
Bei diesem Objekt liegt nur das Inhaltsverzeichnis digital vor. Der Zugriff darauf ist unbeschränkt möglich.
- Letzte Aktualisierung
-
11.03.2025, 12:11 MEZ
Datenpartner
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Objekttyp
- Hochschulschrift
Beteiligte
- Niebelschütz, Florentina
- Univ.-Verl.
Entstanden
- 2010
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