Hochschulschrift
Pattern formation on Si surfaces by low-energy ion beam erosion
- Location
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Deutsche Nationalbibliothek Frankfurt am Main
- ISBN
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9783844004625
- Dimensions
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21 cm, 237 g
- Extent
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XIII, 144 S.
- Language
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Englisch
- Notes
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Ill., graph. Darst.
Zugl.: Saarbrücken, Univ., Diss., 2011
- Bibliographic citation
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Saarbrücker Reihe Materialwissenschaft und Werkstofftechnik ; Bd. 29
- Keyword
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Silicium
Oberflächenbehandlung
Breitstrahl-Ionenquelle
Musterbildung
Nanostruktur
- Table of contents
- Rights
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- Last update
-
11.03.2025, 11:36 AM CET
Data provider
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Object type
- Hochschulschrift
Associated
- Cornejo, Marina Inés
- Shaker
Time of origin
- 2011