Hochschulschrift

Pattern formation on Si surfaces by low-energy ion beam erosion

Location
Deutsche Nationalbibliothek Frankfurt am Main
ISBN
9783844004625
Dimensions
21 cm, 237 g
Extent
XIII, 144 S.
Language
Englisch
Notes
Ill., graph. Darst.
Zugl.: Saarbrücken, Univ., Diss., 2011

Bibliographic citation
Saarbrücker Reihe Materialwissenschaft und Werkstofftechnik ; Bd. 29

Keyword
Silicium
Oberflächenbehandlung
Breitstrahl-Ionenquelle
Musterbildung
Nanostruktur

Event
Veröffentlichung
(where)
Aachen
(who)
Shaker
(when)
2011
Creator

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Last update
11.03.2025, 11:36 AM CET

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Object type

  • Hochschulschrift

Associated

Time of origin

  • 2011

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