Hochschulschrift

Pattern formation on Si surfaces by low-energy ion beam erosion

Standort
Deutsche Nationalbibliothek Frankfurt am Main
ISBN
9783844004625
Maße
21 cm, 237 g
Umfang
XIII, 144 S.
Sprache
Englisch
Anmerkungen
Ill., graph. Darst.
Zugl.: Saarbrücken, Univ., Diss., 2011

Erschienen in
Saarbrücker Reihe Materialwissenschaft und Werkstofftechnik ; Bd. 29

Schlagwort
Silicium
Oberflächenbehandlung
Breitstrahl-Ionenquelle
Musterbildung
Nanostruktur

Ereignis
Veröffentlichung
(wo)
Aachen
(wer)
Shaker
(wann)
2011
Urheber

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Letzte Aktualisierung
11.06.2025, 14:16 MESZ

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Objekttyp

  • Hochschulschrift

Beteiligte

Entstanden

  • 2011

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