Simulation of laser ablation mechanism of silicon nitride by ultrashort pulse laser

Location
Deutsche Nationalbibliothek Frankfurt am Main
Extent
Online-Ressource
Language
Englisch

Bibliographic citation
In: Procedia CIRP 82.2019, S. 208-213

Event
Veröffentlichung
(where)
Furtwangen
(who)
Hochschule Furtwangen
(when)
2019
Creator
Soltani, Babak
Hojati, Faramarz
Daneshi, Amir
Azarhoushang, Bahman

DOI
10.1016/j.procir.2019.04.060
URN
urn:nbn:de:bsz:fn1-opus4-59166
Rights
Der Zugriff auf das Objekt ist unbeschränkt möglich.
Last update
15.08.2025, 7:29 AM CEST

Data provider

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Time of origin

  • 2019

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