Investigation on Wire-EDM Finishing of Titanium Nitride Doped Silicon Nitride in CH-based Dielectrics

Location
Deutsche Nationalbibliothek Frankfurt am Main
Extent
Online-Ressource
Language
Englisch

Bibliographic citation
In: 10.1016/j.procir.2018.08.185

Event
Veröffentlichung
(where)
Aachen
(who)
Universitätsbibliothek der RWTH Aachen
(when)
2018
Creator
Klocke, Fritz
Olivier, Marcel Christoph
Degenhardt, U.
Herrig, Tim
Tombul, Ugur
Klink, Andreas

DOI
10.18154/RWTH-2019-01199
URN
urn:nbn:de:101:1-2021120103102457637129
Rights
Der Zugriff auf das Objekt ist unbeschränkt möglich.
Last update
15.08.2025, 7:24 AM CEST

Data provider

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Time of origin

  • 2018

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