Maskless lithography for versatile and low cost fabrication of polymer based micro optical structures

Standort
Deutsche Nationalbibliothek Frankfurt am Main
Umfang
Online-Ressource
Sprache
Englisch

Erschienen in
In: Khan, M.S.; Lachmayr, R.; Roth, B.: Maskless lithography for versatile and low cost fabrication of polymer based micro optical structures. In: OSA Continuum 3 (2020), Nr. 10, S. 2808-2816. DOI: https://doi.org/10.1364/OSAC.400056

Ereignis
Veröffentlichung
(wo)
Hannover, Hannover
(wer)
Gottfried Wilhelm Leibniz Universität Hannover, Technische Informationsbibliothek (TIB)
(wann)
2020
Urheber
Khan, Muhammad Shaukat
Lachmayr, Roland
Roth, Bernhard

DOI
10.15488/10923
URN
urn:nbn:de:101:1-2021052702090147409654
Rechteinformation
Der Zugriff auf das Objekt ist unbeschränkt möglich.
Letzte Aktualisierung
23.02.1971, 00:00 MEZ

Datenpartner

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Beteiligte

  • Khan, Muhammad Shaukat
  • Lachmayr, Roland
  • Roth, Bernhard
  • Gottfried Wilhelm Leibniz Universität Hannover, Technische Informationsbibliothek (TIB)

Entstanden

  • 2020

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