- Location
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Deutsche Nationalbibliothek Frankfurt am Main
- Extent
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Online-Ressource
- Language
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Englisch
- Bibliographic citation
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Interfacial Contact is Required for Metal‐Assisted Plasma Etching of Silicon ; volume:5 ; number:24 ; year:2018 ; extent:8
Advanced materials interfaces ; 5, Heft 24 (2018) (gesamt 8)
- Creator
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Sun, Julia B.
Almquist, Benjamin D.
- DOI
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10.1002/admi.201800836
- URN
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urn:nbn:de:101:1-2022090306061723067164
- Rights
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Open Access; Der Zugriff auf das Objekt ist unbeschränkt möglich.
- Last update
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15.08.2025, 7:36 AM CEST
Data provider
Deutsche Nationalbibliothek. If you have any questions about the object, please contact the data provider.
Associated
- Sun, Julia B.
- Almquist, Benjamin D.