Hochschulschrift | Online-Publikation

Optische Strukturierung ultradünner funktioneller Polymerfilme

Standort
Deutsche Nationalbibliothek Frankfurt am Main
Sprache
Deutsch
Anmerkungen
Dresden, Techn. Univ., Diss., 2003

Schlagwort
Diazosulfonate
Polymerfilm
Fotolithografie
Nanometerbereich
Diazosulfonate ; Photolithographie ; Polymerfilm

Urheber

URN
urn:nbn:de:swb:14-1052902805796-39177
Rechteinformation
Der Zugriff auf das Objekt ist unbeschränkt möglich.
Letzte Aktualisierung
25.03.2025, 13:49 MEZ

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Objekttyp

  • Hochschulschrift
  • Online-Publikation

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