Über einen neuen chemischen Prozeß zum trockenen Ätzen dünner Kupferschichten

Hochschulschrift

Object Details

• Location: Deutsche Nationalbibliothek Frankfurt am Main
• ISBN: 9783826530128 ; 3826530128
• Dimensions: 21 cm
• Extent: XII, 101 S.
• Edition: Als Ms. gedr.
• Language: Deutsch
• Notes: Ill., graph. Darst. ; Zugl.: Köln, Univ., Diss., 1997

Classification and Topics

• Keyword: Kupferkomplexe ; Dünne Schicht ; Trockenätzen

Contributors, Places and Time

• Event: Veröffentlichung
• (where): Aachen
• (who): Shaker
• (when): 1997
• Creator: Schober, Michael

Further information

• Table of contents: https://d-nb.info/95160967X/04
• Rights: Bei diesem Objekt liegt nur das Inhaltsverzeichnis digital vor. Der Zugriff darauf ist unbeschränkt möglich.
• Last update: 11.06.2025, 2:06 PM CEST