Fabrication mechanism of friction-induced selective etching on Si(100) surface

Standort
Deutsche Nationalbibliothek Frankfurt am Main
ISSN
1556-276X
Umfang
Online-Ressource
Sprache
Englisch
Anmerkungen
online resource.

Erschienen in
Fabrication mechanism of friction-induced selective etching on Si(100) surface ; volume:7 ; number:1 ; day:23 ; month:2 ; year:2012 ; pages:1-9 ; date:12.2012
Nanoscale research letters ; 7, Heft 1 (23.2.2012), 1-9, 12.2012

Urheber
Guo, Jian
Song, Chenfei
Li, Xiaoying
Yu, Bingjun
Dong, Hanshan
Qian, Linmao
Zhou, Zhongrong
Beteiligte Personen und Organisationen
SpringerLink (Online service)

DOI
10.1186/1556-276X-7-152
URN
urn:nbn:de:101:1-2021082720063601022819
Rechteinformation
Open Access; Der Zugriff auf das Objekt ist unbeschränkt möglich.
Letzte Aktualisierung
14.08.2025, 10:53 MESZ

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Beteiligte

  • Guo, Jian
  • Song, Chenfei
  • Li, Xiaoying
  • Yu, Bingjun
  • Dong, Hanshan
  • Qian, Linmao
  • Zhou, Zhongrong
  • SpringerLink (Online service)

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