Hochschulschrift
Ein integrierter Druck-, Temperatursensor in Siliziumplanartechnik
- Location
-
Deutsche Nationalbibliothek Frankfurt am Main
- ISBN
-
9783181424094
3181424099
- Dimensions
-
21 cm
- Extent
-
147 S.
- Edition
-
Als Ms. gedr.
- Language
-
Deutsch
- Notes
-
Ill., graph. Darst.
Zugl.: Darmstadt, Techn. Hochsch., Diss., 1991
- Bibliographic citation
-
Fortschrittberichte VDI / 9 / Verein Deutscher Ingenieure ; Nr. 124, Reihe 9
- Keyword
-
Multisensor
Siliciumsensor
Druckmessung
Temperaturmessung
- Event
-
Veröffentlichung
- (where)
-
Düsseldorf
- (who)
-
VDI-Verl.
- (when)
-
1991
- Creator
-
Zucker, Othmar
- Table of contents
- Rights
-
Bei diesem Objekt liegt nur das Inhaltsverzeichnis digital vor. Der Zugriff darauf ist unbeschränkt möglich.
- Last update
-
11.06.2025, 2:05 PM CEST
Data provider
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Object type
- Hochschulschrift
Associated
- Zucker, Othmar
- VDI-Verl.
Time of origin
- 1991
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