Hochschulschrift
Zur plasmachemischen Abscheidung dünner Siliziumschichten aus einem Siliziumtetrachlorid-Wasserstoff-Gasgemisch
- Standort
-
Deutsche Nationalbibliothek Frankfurt am Main
- Maße
-
30 cm
- Umfang
-
111, 7 Bl.
- Sprache
-
Deutsch
- Anmerkungen
-
60 Ill. u. graph. Darst.
Karl-Marx-Stadt, Techn. Hochsch., Diss., 1980
- Urheber
-
Klaus, Martin
- Inhaltsverzeichnis
- Rechteinformation
-
Bei diesem Objekt liegt nur das Inhaltsverzeichnis digital vor. Der Zugriff darauf ist unbeschränkt möglich.
- Letzte Aktualisierung
-
11.06.2025, 13:32 MESZ
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Objekttyp
- Hochschulschrift
Beteiligte
- Klaus, Martin
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